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多角度激光橢偏儀(PH-LE型)專門針對(duì)晶硅太陽能電池絨面上的減反膜測量，能夠測量薄膜厚度及其光學(xué)常數(shù)，使用632.8nm波長氦氖激光器，具有極高的精確度和準(zhǔn)確度。



多角度激光橢偏儀 - 產(chǎn)品特點(diǎn)

■ 可以測量單晶電池片、多晶電池片
■ 可以測量拋光片，精確度和準(zhǔn)確度極高
■ 可以測量粗糙表面的“絨片”
■ 適用于對(duì)太陽能電池粗糙表面減反膜造成的低反射光強(qiáng)進(jìn)行測量
■ 可對(duì)太陽能電池粗糙表面減反膜造成的退偏因數(shù)（偏振因數(shù)）進(jìn)行測量和評(píng)估，提高測量精度
■ 配置有高穩(wěn)定度補(bǔ)償器，提供最小的漂移值和最小的測量誤差
■ 配置有高精度的自動(dòng)光學(xué)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡
■ 可進(jìn)行20°－90°范圍內(nèi)的多角度測量



多角度激光橢偏儀 - 測量特點(diǎn)

■ 非破環(huán)性檢測
■ 樣品準(zhǔn)直簡單方便
■ 測量速度快
■ 可變?nèi)肷浣欠秶鷮?br /> ■ 絕對(duì)測量
■ 軟件分析功能強(qiáng)



多角度激光橢偏儀 - 技術(shù)指標(biāo)

■ 光源：He-Ne激光器
■ 光斑直徑：1-2mm
■ 入射角范圍：20°到90°,5°/步
■ 精度：0.002°~ 0.02°
■ 膜厚精度：0.01mm，對(duì)100nmSiO2on Si
■ 折射率精度：0.0005，對(duì)100nmSiO2on Si
■ 激光光斑：直徑1mm
■ 激光波長632.8 nm

多角度激光橢偏儀 - 典型客戶

美國，歐洲，亞洲及國內(nèi)太陽能及半導(dǎo)體客戶。